گرینائٹ بیس: یہ فوٹو لیتھوگرافی مشینوں کا "گولڈن پارٹنر" کیوں ہے؟

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں، فوٹو لیتھوگرافی مشین ایک کلیدی ڈیوائس ہے جو چپس کی درستگی کا تعین کرتی ہے، اور گرینائٹ بیس، اپنی متعدد خصوصیات کے ساتھ، فوٹو لیتھوگرافی مشین کا ایک ناگزیر جزو بن گیا ہے۔

تھرمل استحکام: درجہ حرارت کی تبدیلیوں کے خلاف "ڈھال"
جب فوٹو لیتھوگرافی مشین چلتی ہے تو یہ بڑی مقدار میں حرارت پیدا کرتی ہے۔ یہاں تک کہ درجہ حرارت میں صرف 0.1℃ کا اتار چڑھاؤ بھی آلات کے اجزاء کی خرابی کا سبب بن سکتا ہے اور فوٹو لیتھوگرافی کی درستگی کو متاثر کر سکتا ہے۔ گرینائٹ کے تھرمل توسیع کا گتانک انتہائی کم ہے، صرف 4-8 × 10⁻⁶/℃، جو کہ تقریباً 1/3 سٹیل کا اور 1/5 ایلومینیم کھوٹ کا ہے۔ یہ گرینائٹ بیس کو جہتی استحکام کو برقرار رکھنے کے قابل بناتا ہے جب فوٹو لیتھوگرافی مشین طویل عرصے تک چلتی ہے یا جب ماحولیاتی درجہ حرارت میں تبدیلی آتی ہے، آپٹیکل اجزاء اور مکینیکل ڈھانچے کی درست پوزیشننگ کو یقینی بناتا ہے۔

سپر اینٹی وائبریشن کارکردگی: "سپنج" جو کمپن جذب کرتا ہے۔
ایک سیمی کنڈکٹر فیکٹری میں، ارد گرد کے آلات کا آپریشن اور لوگوں کی نقل و حرکت سب کمپن پیدا کر سکتے ہیں۔ گرینائٹ میں زیادہ کثافت اور سخت ساخت ہے، اور اس میں نم کرنے کی بہترین خصوصیات ہیں، جس میں دھاتوں کے مقابلے 2 سے 5 گنا زیادہ نمی کا تناسب ہے۔ جب بیرونی کمپن گرینائٹ بیس میں منتقل ہوتی ہے تو، اندرونی معدنی کرسٹل کے درمیان رگڑ کمپن کی توانائی کو کھپت کے لیے حرارت کی توانائی میں تبدیل کر دیتا ہے، جس سے مختصر وقت میں کمپن کو نمایاں طور پر کم کیا جا سکتا ہے، جس سے فوٹو لیتھوگرافی مشین تیزی سے استحکام بحال کر سکتی ہے اور وائبر کی وجہ سے فوٹو لیتھوگرافی پیٹرن کے دھندلاپن یا غلط ترتیب سے بچ سکتی ہے۔

کیمیائی استحکام: صاف ستھرے ماحول کا "سرپرست"
فوٹو لیتھوگرافی مشین کا اندرونی حصہ مختلف کیمیائی میڈیا کے ساتھ رابطے میں آتا ہے، اور عام دھاتی مواد سنکنرن یا ذرات کے اخراج کا شکار ہوتے ہیں۔ گرینائٹ معدنیات جیسے کوارٹج اور فیلڈ اسپار پر مشتمل ہے۔ اس میں مستحکم کیمیائی خصوصیات اور مضبوط سنکنرن مزاحمت ہے۔ تیزاب اور الکلی محلول میں بھگونے کے بعد، سطح کا سنکنرن بہت کم ہوتا ہے۔ دریں اثنا، اس کا گھنا ڈھانچہ تقریباً کوئی ملبہ یا دھول پیدا نہیں کرتا، کلین روم کے اعلیٰ ترین معیارات کی ضروریات کو پورا کرتا ہے اور ویفر کی آلودگی کے خطرے کو کم کرتا ہے۔

پروسیسنگ موافقت: عین بینچ مارک بنانے کے لیے "مثالی مواد"
فوٹو لیتھوگرافی مشین کے بنیادی اجزاء کو اعلی صحت سے متعلق حوالہ سطح پر نصب کرنے کی ضرورت ہے۔ گرینائٹ کا اندرونی ڈھانچہ یکساں ہے اور اسے پیسنے، پالش کرنے اور دیگر تکنیکوں کے ذریعے انتہائی اعلیٰ درستگی پر عملدرآمد کرنا آسان ہے۔ اس کا چپٹا پن ≤0.5μm/m تک پہنچ سکتا ہے، اور سطح کی کھردری Ra ≤0.05μm ہے، جو آپٹیکل لینسز جیسے اجزاء کے لیے درست تنصیب کی بنیاد فراہم کرتی ہے۔

لمبی عمر اور دیکھ بھال سے پاک: لاگت میں کمی کے لیے "تیز ٹولز"
دھاتی مواد کے مقابلے میں جو طویل مدتی استعمال میں تھکاوٹ اور کریکنگ کا شکار ہوتے ہیں، گرینائٹ عام بوجھ کے تحت مشکل سے پلاسٹک کی خرابی یا فریکچر سے گزرتا ہے، اور اسے سطح کے علاج کی ضرورت نہیں ہوتی ہے، اس طرح کوٹنگ چھیلنے اور آلودگی کے خطرے سے بچتا ہے۔ عملی ایپلی کیشنز میں، کئی سالوں تک استعمال ہونے کے بعد، گرینائٹ بیس کے کلیدی کارکردگی کے اشارے اب بھی مستحکم رہ سکتے ہیں، جو سامان کے آپریشن اور دیکھ بھال کے اخراجات کو کم کرتے ہیں۔

تھرمل استحکام، کمپن مزاحمت سے کیمیائی جڑت تک، گرینائٹ بیس کی متعدد خصوصیات فوٹو لیتھوگرافی مشین کی ضروریات کو بالکل پورا کرتی ہیں۔ جیسا کہ چپ کی تیاری کا عمل اعلیٰ درستگی کی طرف ترقی کرتا جا رہا ہے، گرینائٹ اڈے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے میدان میں ایک ناقابل تلافی کردار ادا کرتے رہیں گے۔