صاف ستھرے کمروں کے لیے وقف گرینائٹ پلیٹ فارم: زیرو میٹل آئن ریلیز، ویفر انسپکشن آلات کے لیے مثالی انتخاب۔

سیمی کنڈکٹر ویفر معائنہ کے میدان میں، کلین روم کے ماحول کی پاکیزگی کا براہ راست تعلق مصنوعات کی پیداوار سے ہے۔ جیسا کہ چپ تیار کرنے کے عمل کی درستگی میں بہتری آتی جارہی ہے، پتہ لگانے والے آلات کے لے جانے والے پلیٹ فارم کی ضروریات تیزی سے سخت ہوتی جارہی ہیں۔ گرینائٹ پلیٹ فارمز، صفر دھاتی آئن کی رہائی اور کم ذرہ آلودگی کی اپنی خصوصیات کے ساتھ، روایتی سٹینلیس سٹیل کے مواد کو پیچھے چھوڑ چکے ہیں اور ویفر معائنہ کے آلات کے لیے ترجیحی حل بن گئے ہیں۔

گرینائٹ ایک قدرتی آگنیس چٹان ہے جو بنیادی طور پر غیر دھاتی معدنیات جیسے کوارٹج، فیلڈ اسپار اور ابرک پر مشتمل ہے۔ یہ خصوصیت اسے صفر دھاتی آئن کی رہائی کا فائدہ دیتی ہے۔ اس کے برعکس، سٹینلیس سٹیل، لوہے، کرومیم اور نکل جیسی دھاتوں کے مرکب کے طور پر، صاف کمرے کے ماحول میں پانی کے بخارات اور تیزابی یا الکلین گیسوں کے کٹاؤ کی وجہ سے اس کی سطح پر الیکٹرو کیمیکل سنکنرن کا شکار ہوتا ہے، جس کے نتیجے میں دھاتی آئنوں جیسے Fe²⁺ اور Cr. ایک بار جب یہ چھوٹے آئن ویفر کی سطح سے منسلک ہو جاتے ہیں، تو وہ فوٹو لیتھوگرافی اور ایچنگ جیسے بعد کے عمل میں سیمی کنڈکٹر مواد کی برقی خصوصیات کو تبدیل کر دیں گے، ٹرانجسٹر کے تھریشولڈ وولٹیج کے بڑھنے کا سبب بنیں گے، اور یہاں تک کہ سرکٹ میں شارٹ سرکٹ کا باعث بنیں گے۔ پیشہ ورانہ ادارے کے ٹیسٹ کے اعداد و شمار سے پتہ چلتا ہے کہ گرینائٹ پلیٹ فارم کو 1000 گھنٹے تک صاف کمرے کے درجہ حرارت اور نمی کے ماحول (23±0.5℃، 45%±5% RH) کے مسلسل سامنے آنے کے بعد، دھاتی آئنوں کا اخراج پتہ لگانے کی حد (<0.1ppb) سے کم تھا۔ سٹینلیس سٹیل پلیٹ فارم استعمال کرتے وقت دھاتی آئن کی آلودگی کی وجہ سے ویفرز کی خرابی کی شرح 15% سے 20% تک زیادہ ہو سکتی ہے۔

ذرہ آلودگی پر قابو پانے کے معاملے میں، گرینائٹ پلیٹ فارم بھی غیر معمولی کارکردگی کا مظاہرہ کرتے ہیں۔ ہوا میں معلق ذرات کے ارتکاز کے لیے کلین رومز میں انتہائی زیادہ تقاضے ہوتے ہیں۔ مثال کے طور پر، ISO کلاس 1 کلین رومز میں، 0.1μm ذرات کی اجازت فی کیوبک میٹر سے زیادہ نہیں ہوتی۔ اگر سٹینلیس سٹیل کے پلیٹ فارم کو پالش کرنے کا عمل مکمل ہو چکا ہے، تب بھی یہ دھاتی ملبہ یا آکسائیڈ سکیل کا چھلکا پیدا کر سکتا ہے جیسے کہ آلات کی کمپن اور عملے کے آپریشن، جو سطح کے راستے میں رکاوٹ کا پتہ لگا سکتے ہیں ویفر گرینائٹ پلیٹ فارمز، اپنی گھنی معدنی ساخت (کثافت ≥2.7g/cm³) اور زیادہ سختی (Mohs پیمانے پر 6-7) کے ساتھ، طویل مدتی استعمال کے دوران پہننے یا ٹوٹنے کا خطرہ نہیں رکھتے ہیں۔ ناپی گئی پیمائش سے پتہ چلتا ہے کہ وہ سٹینلیس سٹیل پلیٹ فارم کے مقابلے میں پتہ لگانے والے آلات کے علاقے کی ہوا میں معطل ذرات کے ارتکاز کو کم کر سکتے ہیں، کلین روم گریڈ کے معیار کو مؤثر طریقے سے برقرار رکھتے ہوئے

اس کی صاف خصوصیات کے علاوہ، گرینائٹ پلیٹ فارم کی جامع کارکردگی بھی سٹینلیس سٹیل سے کہیں زیادہ ہے۔ تھرمل استحکام کے لحاظ سے، اس کا تھرمل توسیع کا گتانک صرف (4-8) × 10⁻⁶/℃ ہے، جو سٹینلیس سٹیل کے نصف سے بھی کم ہے (تقریباً 17×10⁻⁶/℃)، جو صاف کمرے میں درجہ حرارت میں اتار چڑھاؤ کے وقت پتہ لگانے والے آلات کی پوزیشننگ کی درستگی کو بہتر طریقے سے برقرار رکھ سکتا ہے۔ ہائی ڈیمپنگ کی خصوصیت (ڈمپنگ ریشو> 0.05) آلات کی کمپن کو تیزی سے کم کر سکتی ہے اور ڈٹیکشن پروب کو ہلنے سے روک سکتی ہے۔ اس کی قدرتی سنکنرن مزاحمت اس کو مستحکم رہنے کے قابل بناتی ہے یہاں تک کہ فوٹو ریزسٹ سالوینٹس، اینچنگ گیسوں اور دیگر کیمیکلز کے سامنے آنے پر بھی کوٹنگ کے اضافی تحفظ کی ضرورت کے بغیر۔

اس وقت، گرینائٹ پلیٹ فارم بڑے پیمانے پر اعلی درجے کی ویفر مینوفیکچرنگ پلانٹس میں استعمال ہوتے ہیں۔ ڈیٹا سے پتہ چلتا ہے کہ گرینائٹ پلیٹ فارم کو اپنانے کے بعد، ویفر سطح کے ذرہ کا پتہ لگانے کی غلط فہمی کی شرح میں 60٪ کی کمی واقع ہوئی ہے، آلات کیلیبریشن سائیکل کو تین گنا بڑھا دیا گیا ہے، اور مجموعی پیداواری لاگت میں 25٪ کی کمی واقع ہوئی ہے۔ جیسے جیسے سیمی کنڈکٹر انڈسٹری زیادہ درستگی کی طرف بڑھ رہی ہے، گرینائٹ پلیٹ فارمز، اپنے بنیادی فوائد جیسے صفر دھاتی آئن کی رہائی اور کم ذرہ آلودگی کے ساتھ، ویفر معائنہ کے لیے مستحکم اور قابل بھروسہ مدد فراہم کرتے رہیں گے، جو صنعت کی ترقی کو آگے بڑھانے والی ایک اہم قوت بنتے ہیں۔