گرینائٹ پریسجن پلیٹ فارم کی درستگی کا معائنہ کیسے کریں؟ یقینی بنائیں کہ آیا درستگی معیاری ہے؟

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ اور درست پیمائش کے آلات جیسے شعبوں میں، گرینائٹ پریسجن پلیٹ فارمز کی درستگی براہ راست آلات کے آپریشنل معیار کا تعین کرتی ہے۔ اس بات کو یقینی بنانے کے لیے کہ پلیٹ فارم کی درستگی معیارات پر پوری اترتی ہے، دو پہلوؤں سے کوششیں کی جانی چاہئیں: کلیدی اشارے کا پتہ لگانا اور معیاری اصولوں کی تعمیل۔ میں

بنیادی اشارے کا پتہ لگانا: درستگی کا کثیر جہتی کنٹرول
چپٹی پن کا پتہ لگانا: حوالہ والے طیارے کی "چپٹی" کا تعین کرنا
ہموار ہونا گرینائٹ پریسجن پلیٹ فارمز کا بنیادی اشارے ہے، اور یہ عام طور پر لیزر انٹرفیرو میٹر یا الیکٹرانک لیول سے ماپا جاتا ہے۔ لیزر انٹرفیرومیٹر پلیٹ فارم کی سطح پر ایک لیزر بیم کے اخراج اور روشنی کی مداخلت کے اصول کو استعمال کرتے ہوئے، ذیلی مائیکرون کی سطح تک درستگی کے ساتھ درست طریقے سے پیمائش کر سکتا ہے۔ الیکٹرانک سطح متعدد بار حرکت کر کے پیمائش کرتی ہے اور پلیٹ فارم کی سطح کا ایک سہ جہتی سموچ نقشہ کھینچتی ہے تاکہ یہ معلوم کیا جا سکے کہ آیا کوئی مقامی پروٹریشن یا ڈپریشن موجود ہیں۔ مثال کے طور پر، سیمی کنڈکٹر فوٹو لیتھوگرافی مشینوں میں استعمال ہونے والے گرینائٹ پلیٹ فارمز کو ±0.5μm/m کا فلیٹ ہونا ضروری ہے، مطلب یہ ہے کہ 1 میٹر کی لمبائی کے اندر اونچائی کا فرق آدھے مائکرو میٹر سے زیادہ نہیں ہونا چاہیے۔ صرف اعلیٰ درستگی کا پتہ لگانے والے آلات کے ذریعے ہی اس سخت معیار کو یقینی بنایا جا سکتا ہے۔ میں
2. سیدھے پن کا پتہ لگانا: لکیری حرکت کی "سیدھی" کو یقینی بنائیں
ایسے پلیٹ فارمز کے لیے جو درست حرکت پذیر حصے رکھتے ہیں، سیدھا ہونا بہت اہمیت کا حامل ہے۔ پتہ لگانے کے عام طریقے تار کا طریقہ یا لیزر کولیمیٹر ہیں۔ تار کے طریقہ کار میں سٹیل کی اعلیٰ درستگی کی تاروں کو معطل کرنا اور پلیٹ فارم کی سطح اور سٹیل کی تاروں کے درمیان خلا کا موازنہ کرنا شامل ہے تاکہ سیدھا پن کا تعین کیا جا سکے۔ لیزر کولیمیٹر پلیٹ فارم گائیڈ ریل کی تنصیب کی سطح کی لکیری غلطی کا پتہ لگانے کے لیے لیزر کی لکیری پھیلاؤ کی خصوصیات کا استعمال کرتا ہے۔ اگر سیدھا پن معیار پر پورا نہیں اترتا ہے، تو یہ نقل و حرکت کے دوران آلات کو منتقل کرنے کا سبب بنے گا، جس سے پروسیسنگ یا پیمائش کی درستگی متاثر ہوگی۔ میں
3. سطح کی کھردری کا پتہ لگانا: رابطے کی "نفاست" کو یقینی بنائیں
پلیٹ فارم کی سطح کی کھردری اجزاء کی تنصیب کے فٹ کو متاثر کرتی ہے۔ عام طور پر، ایک اسٹائلس کھردری میٹر یا ایک نظری خوردبین کا پتہ لگانے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے. اسٹائلس قسم کا آلہ ایک باریک پروب کے ساتھ پلیٹ فارم کی سطح سے رابطہ کرکے مائکروسکوپک پروفائل کی اونچائی میں ہونے والی تبدیلیوں کو ریکارڈ کرتا ہے۔ آپٹیکل خوردبین براہ راست سطح کی ساخت کا مشاہدہ کر سکتی ہیں۔ اعلی صحت سے متعلق ایپلی کیشنز میں، گرینائٹ پلیٹ فارم کی سطح کی کھردری کو Ra≤0.05μm پر کنٹرول کرنے کی ضرورت ہے، جو آئینے جیسے اثر کے برابر ہے، اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ درستگی کے اجزاء تنصیب کے دوران مضبوطی سے فٹ ہوں اور خلا کی وجہ سے کمپن یا نقل مکانی سے بچیں۔ میں
صحت سے متعلق معیارات کی پیروی: بین الاقوامی اصول اور انٹرپرائز کا اندرونی کنٹرول
اس وقت، بین الاقوامی سطح پر، ISO 25178 اور GB/T 24632 معیارات کو عام طور پر گرینائٹ پلیٹ فارم کی درستگی کا تعین کرنے کے لیے بنیاد کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے، اور انڈیکیٹرز کے لیے واضح درجہ بندی ہیں جیسے کہ ہموار اور سیدھا پن۔ اس کے علاوہ، اعلی درجے کی مینوفیکچرنگ انٹرپرائزز اکثر اندرونی کنٹرول کے زیادہ سخت معیارات مرتب کرتے ہیں۔ مثال کے طور پر، فوٹو لیتھوگرافی مشین کے گرینائٹ پلیٹ فارم کے لیے فلیٹنس کی ضرورت بین الاقوامی معیار سے 30% زیادہ ہے۔ ٹیسٹ کرتے وقت، ماپا ڈیٹا کا موازنہ متعلقہ معیارات سے کیا جانا چاہیے۔ صرف وہ پلیٹ فارمز جو معیارات کی مکمل تعمیل کرتے ہیں درست آلات میں مستحکم کارکردگی کو یقینی بنا سکتے ہیں۔ میں
گرینائٹ پریسجن پلیٹ فارمز کی درستگی کا معائنہ کرنا ایک منظم منصوبہ ہے۔ صرف بنیادی اشارے جیسے چپٹا پن، سیدھا پن، اور سطح کے کھردرے پن، اور بین الاقوامی اور انٹرپرائز معیارات پر عمل کرنے سے، پلیٹ فارم کی اعلیٰ درستگی اور وشوسنییتا کی ضمانت دی جا سکتی ہے، جو اعلیٰ درجے کے مینوفیکچرنگ شعبوں جیسے کہ سیمی کنڈکٹرز اور درست آلات کے لیے ایک مضبوط بنیاد رکھتا ہے۔