میں
سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے میدان میں، ویفر معائنہ کے آلات کی درستگی براہ راست چپس کے معیار اور پیداوار کا تعین کرتی ہے۔ بنیادی کھوج کے اجزاء کی حمایت کرنے والی بنیاد کے طور پر، آلات کے بنیادی مواد کی جہتی استحکام آلات کی طویل مدتی آپریشنل کارکردگی میں ایک اہم کردار ادا کرتا ہے۔ گرینائٹ اور کاسٹ آئرن ویفر معائنہ کے سامان کے لئے عام طور پر استعمال ہونے والے دو بنیادی مواد ہیں۔ 10 سالہ تقابلی مطالعہ نے جہتی استحکام کے لحاظ سے ان کے درمیان اہم فرق کو ظاہر کیا ہے، جو آلات کے انتخاب کے لیے اہم حوالہ جات فراہم کرتا ہے۔ میں
تجرباتی پس منظر اور ڈیزائن
سیمی کنڈکٹر ویفرز کی پیداوار کے عمل میں پتہ لگانے کی درستگی کے لیے انتہائی زیادہ تقاضے ہوتے ہیں۔ یہاں تک کہ مائیکرو میٹر کی سطح کا جہتی انحراف چپ کی کارکردگی میں کمی یا اسکریپنگ کا باعث بھی بن سکتا ہے۔ طویل مدتی استعمال کے دوران گرینائٹ اور کاسٹ آئرن کے جہتی استحکام کو تلاش کرنے کے لیے، تحقیقی ٹیم نے ایسے تجربات ڈیزائن کیے جو حقیقی کام کرنے والے ماحول کو نقل کرتے ہیں۔ اسی تصریح کے گرینائٹ اور کاسٹ آئرن کے نمونوں کو منتخب کیا گیا اور ایک ماحولیاتی چیمبر میں رکھا گیا جہاں درجہ حرارت 15℃ سے 35℃ تک اور نمی 30% سے 70% RH میں اتار چڑھاؤ آتا ہے۔ سازوسامان کے آپریشن کے دوران مکینیکل کمپن کو کمپن ٹیبل کے ذریعے نقل کیا گیا تھا۔ نمونوں کے کلیدی جہتوں کو ہر سہ ماہی میں اعلی درستگی والے لیزر انٹرفیرومیٹر کا استعمال کرتے ہوئے ماپا گیا، اور ڈیٹا کو 10 سال تک مسلسل ریکارڈ کیا گیا۔ میں
تجرباتی نتیجہ: گرینائٹ کا مطلق فائدہ
دس سال کے تجرباتی اعداد و شمار سے پتہ چلتا ہے کہ گرینائٹ سبسٹریٹ حیرت انگیز استحکام کی نمائش کرتا ہے۔ اس کا تھرمل توسیع کا گتانک انتہائی کم ہے، جس کی اوسط صرف 4.6×10⁻⁶/℃ ہے۔ درجہ حرارت میں زبردست تبدیلیوں کے تحت، جہتی انحراف ہمیشہ ±0.001mm کے اندر کنٹرول کیا جاتا ہے۔ نمی کی تبدیلیوں کے پیش نظر، گرینائٹ کی گھنی ساخت اسے تقریباً غیر متاثر بناتی ہے، اور کوئی قابل پیمائش جہتی تبدیلیاں رونما نہیں ہوتیں۔ مکینیکل کمپن ماحول میں، گرینائٹ کی بہترین ڈیمپنگ خصوصیات کمپن توانائی کو مؤثر طریقے سے جذب کرتی ہیں، اور جہتی اتار چڑھاو بہت چھوٹا ہے۔ میں
اس کے برعکس، کاسٹ آئرن سبسٹریٹ کے لیے، اس کی حرارتی توسیع کا اوسط گتانک 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ تک پہنچ جاتا ہے، اور 10 سال کے اندر درجہ حرارت کی تبدیلیوں کی وجہ سے زیادہ سے زیادہ جہتی انحراف ±0.05mm ہے۔ مرطوب ماحول میں، کاسٹ آئرن زنگ اور سنکنرن کا شکار ہوتا ہے۔ کچھ نمونے مقامی اخترتی کو ظاہر کرتے ہیں، اور جہتی انحراف مزید بڑھ جاتا ہے۔ مکینیکل وائبریشن کے عمل کے تحت، کاسٹ آئرن میں کمپن ڈیمپنگ کی کارکردگی خراب ہوتی ہے اور اس کے سائز میں اکثر اتار چڑھاؤ آتا ہے، جس سے ویفر معائنہ کی اعلیٰ درستگی کی ضروریات کو پورا کرنا مشکل ہو جاتا ہے۔ میں
استحکام میں فرق کی بنیادی وجہ
گرینائٹ لاکھوں سالوں میں ارضیاتی عمل کے ذریعے تشکیل پایا۔ اس کا اندرونی ڈھانچہ گھنا اور یکساں ہے، اور معدنی کرسٹل مستحکم طریقے سے ترتیب دیے گئے ہیں، فطرت کے لحاظ سے اندرونی دباؤ کو ختم کرتے ہیں۔ یہ بیرونی عوامل جیسے درجہ حرارت، نمی اور کمپن میں تبدیلیوں کے لئے انتہائی غیر حساس بناتا ہے. کاسٹ آئرن کاسٹنگ کے عمل سے بنایا جاتا ہے اور اس میں خوردبینی نقائص ہوتے ہیں جیسے کہ سوراخ اور اندر ریت کے سوراخ۔ دریں اثنا، معدنیات سے متعلق عمل کے دوران پیدا ہونے والا بقایا تناؤ بیرونی ماحول کے محرک کے تحت جہتی تبدیلیوں کا باعث بنتا ہے۔ کاسٹ آئرن کی دھاتی خصوصیات نمی کی وجہ سے اسے زنگ لگنے، ساختی نقصان کو تیز کرنے اور جہتی استحکام کو کم کرنے کا خطرہ بناتی ہیں۔ میں
ویفر معائنہ کے سامان پر اثر
گرینائٹ سبسٹریٹ پر مبنی ویفر معائنہ کا سامان، اس کی مستحکم جہتی کارکردگی کے ساتھ، اس بات کو یقینی بنا سکتا ہے کہ معائنہ کا نظام طویل عرصے تک اعلیٰ درستگی کو برقرار رکھتا ہے، آلات کی درستگی کے بڑھنے کی وجہ سے ہونے والی غلط فہمی اور کھو جانے والی کھوج کو کم کرتا ہے، اور مصنوعات کی پیداوار کو نمایاں طور پر بہتر بنا سکتا ہے۔ دریں اثنا، کم دیکھ بھال کی ضروریات سامان کی مکمل زندگی سائیکل لاگت کو کم کرتی ہیں. کاسٹ آئرن سبسٹریٹس کا استعمال کرنے والے آلات، کمزور جہتی استحکام کی وجہ سے، بار بار انشانکن اور دیکھ بھال کی ضرورت ہوتی ہے۔ یہ نہ صرف آپریٹنگ لاگت میں اضافہ کرتا ہے بلکہ ناکافی درستگی کی وجہ سے سیمی کنڈکٹر کی پیداوار کے معیار کو بھی متاثر کر سکتا ہے، جس سے ممکنہ اقتصادی نقصان ہو سکتا ہے۔ میں
سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے اعلیٰ درستگی اور بہتر معیار کے حصول کے رجحان کے تحت، ویفر انسپکشن آلات کے لیے بنیادی مواد کے طور پر گرینائٹ کا انتخاب بلاشبہ ساز و سامان کی کارکردگی کو یقینی بنانے اور کاروباری اداروں کی مسابقت کو بڑھانے کے لیے ایک دانشمندانہ اقدام ہے۔ میں
پوسٹ ٹائم: مئی 14-2025