کیا ویفر اسکیننگ کے دوران گرمی کی وجہ سے گرینائٹ مشین کی بنیاد پھیل جائے گی؟

چپ مینوفیکچرنگ کے اہم لنک - ویفر اسکیننگ میں، آلات کی درستگی چپ کے معیار کا تعین کرتی ہے۔ سامان کے ایک اہم جزو کے طور پر، گرینائٹ مشین بیس کے تھرمل توسیع کے مسئلے نے بہت زیادہ توجہ مبذول کرائی ہے۔

گرینائٹ کے تھرمل توسیع کا گتانک عام طور پر 4 اور 8×10⁻⁶/℃ کے درمیان ہوتا ہے، جو دھاتوں اور ماربل سے بہت کم ہوتا ہے۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ جب درجہ حرارت بدلتا ہے تو اس کا سائز نسبتاً کم بدلتا ہے۔ تاہم، یہ غور کرنا چاہیے کہ کم تھرمل توسیع کا مطلب یہ نہیں ہے کہ تھرمل توسیع نہیں ہے۔ انتہائی درجہ حرارت کے اتار چڑھاو کے تحت، معمولی سی توسیع بھی ویفر سکیننگ کی نانوسکل درستگی کو متاثر کر سکتی ہے۔

ویفر سکیننگ کے عمل کے دوران، تھرمل توسیع کی موجودگی کی متعدد وجوہات ہیں۔ ورکشاپ میں درجہ حرارت کے اتار چڑھاؤ، آلات کے اجزاء کے آپریشن سے پیدا ہونے والی گرمی، اور لیزر پروسیسنگ کے ذریعے لایا جانے والا فوری اعلی درجہ حرارت، یہ سب گرینائٹ بیس کو "درجہ حرارت کی تبدیلیوں کی وجہ سے پھیلنے اور سکڑنے" کا سبب بنے گا۔ ایک بار جب بیس تھرمل توسیع سے گزرتا ہے تو، گائیڈ ریل کی سیدھی اور پلیٹ فارم کی چپٹی انحراف ہوسکتی ہے، جس کے نتیجے میں ویفر ٹیبل کی نقل و حرکت کی رفتار غلط ہوجاتی ہے۔ معاون آپٹیکل اجزاء بھی بدل جائیں گے، جس کی وجہ سے اسکیننگ بیم "انحراف" ہو جائے گی۔ لمبے عرصے تک مسلسل کام کرنے سے غلطیاں بھی جمع ہوں گی، جس سے درستگی خراب سے خراب ہو جائے گی۔

لیکن فکر نہ کرو۔ لوگوں کے پاس پہلے سے ہی حل موجود ہیں۔ مواد کے لحاظ سے، تھرمل توسیع کے کم گتانک کے ساتھ گرینائٹ رگوں کو منتخب کیا جائے گا اور عمر بڑھنے کے علاج کا نشانہ بنایا جائے گا۔ درجہ حرارت کے کنٹرول کے لحاظ سے، ورکشاپ کا درجہ حرارت 23±0.5℃ یا اس سے بھی کم پر بالکل ٹھیک کنٹرول کیا جاتا ہے، اور ایک فعال حرارت کی کھپت کا آلہ بھی بیس کے لیے ڈیزائن کیا جائے گا۔ ساختی ڈیزائن کے لحاظ سے، ہم آہنگی کے ڈھانچے اور لچکدار معاونت کو اپنایا جاتا ہے، اور درجہ حرارت کے سینسر کے ذریعے حقیقی وقت کی نگرانی کی جاتی ہے۔ تھرمل اخترتی کی وجہ سے ہونے والی خرابیوں کو الگورتھم کے ذریعے متحرک طور پر درست کیا جاتا ہے۔

اعلی درجے کا سامان جیسے ASML لتھوگرافی مشینیں، ان طریقوں کے ذریعے، گرینائٹ بیس کے تھرمل توسیعی اثر کو انتہائی چھوٹی رینج میں رکھتی ہیں، جس سے ویفر سکیننگ کی درستگی کو نینو میٹر کی سطح تک پہنچنے میں مدد ملتی ہے۔ لہٰذا، جب تک اس کو مناسب طریقے سے کنٹرول کیا جاتا ہے، گرینائٹ بیس ویفر اسکیننگ کے سامان کے لیے ایک قابل اعتماد انتخاب رہتا ہے۔